Technologies 썸네일형 리스트형 MEMS Technology 연 재 순 서 ♠ ☞. MEMS 기술의 소개 Ⅱ. 기술의 센서 응용 (비냉각형 적외선 이미지 소자를 중심으로) Ⅲ. 기술의 엑츄에이터 응용 (Ⅰ) (Projection Display를 중심으로) Ⅳ. 기술의 엑츄에이터 응용 (Ⅱ) (광통신 부품을 중심으로 (ⅰ)) Ⅴ. 기술의 엑츄에이터의 응용 (Ⅲ) (광통신 부품을 중심으로 (ⅱ)) Micro-Electro-Mechanical-System (MEMS)은 반도체 공정을 이용하여 마이크로 사이즈를 갖는 핵심 센서 또는 엑츄에이터를 제조하여 전체 시스템의 성능을 향상시키는 새로운 시도이다. 기존의 반도체 공정과 차별되는 점은 3차원 구조의 제조에 있다. 반도체 공정에서는 2차원 평면상에 도체, 부도체, 반도체의 조합으로 고성능의 기능성 소자를 제조할 수 있었.. 더보기 이전 1 다음